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教員紹介

室 英夫 教授 博士(工学)

室 英夫 教授 博士(工学)

略歴

日産自動車総合研究所、千葉工大(~2006)

趣味・特技

囲碁、ウォーキング、旅行、卓球

研究分野

電子デバイス・電子機器
計測工学

主な担当科目

電子デバイス1
計測システム工学

ひとこと

これからのIT社会ではエレクトロニクスがキー技術となります。自動車も携帯もエレクトロニクスによりどんどん進化しています。皆さんも一緒にエレクトロニクスを学びませんか!

研究概要

半導体の微細加工技術により実現される超小型のセンサやアクチュエータなどのMEMSデバイスやセンシング技術に関する研究を行っています。

研究室の様子

CADによるMEMSデバイスの特性シミュレーション

CADによるMEMSデバイスの特性シミュレーション

MEMSデバイスの開発に当たってはマイクロ構造体の応力解析・共振モード解析・熱伝導の解析、あるいは流体デバイスの流量解析などCADを用いてそのデバイスの基本特性のシミュレーションを実施し、設計最適化を行います。

試作したMEMSデバイスの実装・評価

試作したMEMSデバイスの実装・評価

半導体のウェーハ・ラインで試作されたMEMSデバイスはチップ分割・ダイボンディング・ワイヤボンディングを行い各デバイスの用途に合わせた専用のパッケージ実装を行い、特性評価を行います。センサ評価においては光・磁気・加速度などそれぞれの用途に合わせた専用の印加装置を用いてセンサ特性の測定を行います。

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